晶萃光学JCOPTIX提供的高性能气浮隔振光学平台采用三线摆杆设计，可保证竖直和水平固有频率均保持在1.5 Hz范围内（同实际负载相关）。台面由磁性不锈钢上面板、密封杯、蜂窝桁架以及底板钢共四层组成。磁性不锈钢上面板经过精密打磨，保证平台台面平面度< 50 μm/m²，粗糙度< 0.8 μm。上面板下密封杯结构可以有效阻止污染物进入蜂窝结构，并阻隔蜂窝桁架内部气流。台面下部为高性能气浮隔振器，支腿为独立式圆腿支撑，无整体共振，内部三线摆设计可将振动隔离到最低水平，并在受到干扰后实现高精度工作台重新定位，普通的层流阻尼采用的是在主气室与二级气室之间增加一个气孔的方式用来压缩以及释放气体，从而实现控制稳定性。而微米级层流阻尼则是将一个气室改为许多个微米级的小孔，这样将大大增加我们阻尼效率，并且降低了工作振幅，混合腔设计极大增加了给定尺寸下的柔性体积，同时降低了固有频率。

台面可选配TMD调谐质量阻尼器。高性能气浮隔振光学平台搭配使用的蜂窝粘接光学平台内部，可选择安装调谐质量阻尼器(可选配2、4、6个)，通过调谐质量阻尼(TMD)技术消除平台共振。在所有已知的被动阻尼方法中，TMD是最有效的方法，因为它将阻尼力集中在主共振模式的频率上。为达到高效、高性能的阻尼效果，大多数同类产品采用的是宽频带阻尼方法，在宽频带内平均吸收适量的振动能量，与之相比，调谐质量阻尼方法主要针对共振频率的振动，因此更加有效。

高性能气浮隔振光学平台系列可选台面厚度为100 mm、200 mm、300 mm，带磁不锈钢顶板的厚度为5 mm，表面带有M6螺纹孔，间距和孔深均为25 mm。晶萃光学已推出从1200 mm × 800 mm到4000 mm × 1500 mm尺寸的高性能气浮隔振光学平台。如需要其他特殊尺寸定制，请联系客服。